IV曲線測(cè)試：通過施加不同的電壓并測(cè)量對(duì)應(yīng)的電流，可以繪制出器件的電流-電壓（IV）特性曲線。這有助于識(shí)別器件是否存在擊穿、泄漏或?qū)▎栴}。
CV曲線測(cè)試：電容-電壓（CV）特性曲線測(cè)試可以評(píng)估器件的電容特性，這對(duì)于分析半導(dǎo)體材料的介電性質(zhì)和結(jié)構(gòu)缺陷非常重要。
溫度效應(yīng)測(cè)試：在不同溫度下進(jìn)行電參數(shù)測(cè)試，可以觀察器件性能隨溫度的變化，從而評(píng)估器件的熱穩(wěn)定性。
脈沖測(cè)試：對(duì)器件施加短暫的電流或電壓脈沖，并測(cè)量其響應(yīng)，這有助于評(píng)估器件的動(dòng)態(tài)特性和響應(yīng)時(shí)間。
四線探頭法：使用四線探頭可以減少接觸電阻和線阻的影響，從而獲得更準(zhǔn)確的電阻率測(cè)量結(jié)果。
動(dòng)態(tài)電阻測(cè)試：通過測(cè)量器件在不同電流或電壓下的電阻變化，可以評(píng)估器件的穩(wěn)定性和可靠性。
高頻參數(shù)測(cè)試：對(duì)于高頻應(yīng)用的半導(dǎo)體器件，參數(shù)分析儀可以測(cè)量其在高頻條件下的性能，如最大振蕩頻率等。
柵極電荷測(cè)量：對(duì)于MOSFET等器件，測(cè)量柵極電荷有助于評(píng)估其開關(guān)速度和效率。
數(shù)據(jù)記錄和分析：參數(shù)分析儀通常配備有軟件，可以自動(dòng)記錄測(cè)試數(shù)據(jù)，并提供分析工具，幫助工程師快速識(shí)別和定位故障。
