矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（VNA）的校準(zhǔn)參數(shù)測(cè)量是通過一系列校準(zhǔn)步驟來確保儀器測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。以下是測(cè)量矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀校準(zhǔn)參數(shù)的方法和步驟：

校準(zhǔn)前的準(zhǔn)備

• 準(zhǔn)備校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件：選擇合適的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件，如開路（Open）、短路（Short）、負(fù)載（Load）和直通（Through）等。
• 設(shè)置校準(zhǔn)類型：根據(jù)需要選擇反射校準(zhǔn)、傳輸校準(zhǔn)或混合校準(zhǔn)。

校準(zhǔn)步驟

1. 單端口校準(zhǔn)：

   • 連接開路校準(zhǔn)件，進(jìn)行開路校準(zhǔn)。
   • 連接短路校準(zhǔn)件，進(jìn)行短路校準(zhǔn)。
   • 連接負(fù)載校準(zhǔn)件，進(jìn)行負(fù)載校準(zhǔn)。

2. 雙端口校準(zhǔn)：

   • 連接開路、短路、負(fù)載校準(zhǔn)件到端口1，進(jìn)行反射校準(zhǔn)。
   • 連接直通校準(zhǔn)件，進(jìn)行傳輸校準(zhǔn)。

3. 驗(yàn)證校準(zhǔn)：

   • 使用校準(zhǔn)驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn)件，如標(biāo)準(zhǔn)電阻或負(fù)載，驗(yàn)證校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

誤差分析

• 系統(tǒng)誤差：由于儀表內(nèi)部測(cè)試裝置的不理想引起，可通過校準(zhǔn)消除。
• 隨機(jī)誤差：由儀表內(nèi)部噪聲、開關(guān)動(dòng)作重復(fù)性和連接器重復(fù)性引起，不可通過校準(zhǔn)消除。
• 漂移誤差：由溫度變化造成，可通過進(jìn)一步校準(zhǔn)消除。

通過以上步驟，可以確保矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的校準(zhǔn)參數(shù)準(zhǔn)確無誤，從而在各種應(yīng)用場(chǎng)景中提供精確的測(cè)量數(shù)據(jù)。